לייזר ממיר סוג מוליכים למחצה באופן מיידי
תהליך חדש מבוסס לייזר מאפשר המרה חד-שלבית של תחמוצת טיטניום למוליכים למחצה מסוג p, מה שעשוי לחולל מהפכה בייצור השבבים על ידי ביטול שלבים מורכבים ועתירי זמן.
חוקרים ממכון Daegu Gyeongbuk למדע וטכנולוגיה (DGIST) פיתחו תהליך לייזר חד-שלבי שהופך את התכונות החשמליות של מוליכים למחצה.טכניקת החמצון והסימום המושרה בלייזר (LODI) מאפשרת תחמוצת טיטניום (TiO₂) - חומר שהוגבל בעבר להולכה מבוססת אלקטרונים - לתפקד כמוליך למחצה מסוג p מבוסס חור.
המחקר מדגים כיצד LODI משלב חמצון וסימום לשלב קרינת לייזר אחד, ומציע פישוט דרסטי על פני שיטות ייצור מוליכים למחצה מרובי פאזות מסורתיות בטמפרטורה גבוהה.החידוש, בהובלת פרופסור Hyukjun Kwon וצוותו, עשוי להפחית משמעותית את הזמן, העלות ומורכבות הציוד הכרוכים בייצור השבבים.
מוליכים למחצה פועלים כחומרים מסוג n או מסוג p בהתאם לנושאי המטען שלהם - אלקטרונים או חורים.אלקטרוניקה מודרנית, כולל מעגלי CMOS המצויים בסמארטפונים ומחשבים, מסתמכת על שילוב חלק של שני הסוגים.עם זאת, חומרים יציבים מסוימים כמו תחמוצת טיטניום, למרות היתרונות הסביבתיים והמבניים שלהם, נותרו מוגבלים לפעולה מסוג n בשל ניידות חורים מוגבלת.
שיטת LODI של הצוות מתגברת על מגבלה זו.על ידי שכבת תחמוצת אלומיניום (Al₂O₃) על טיטניום (Ti) וחשיפת הערימה ללייזר למשך מספר שניות בלבד, יוני אלומיניום מתפזרים בזמן שהטיטניום מתחמצן ויוצר TiO₂.הלייזר שובר בו זמנית את מאזן האלקטרונים, ויוצר חורים הממירים את החומר למוליך למחצה מסוג p.
גישות מסורתיות להשגת המרה זו דורשות שלבים מרובים - כגון השתלת יונים בוואקום וטיפול תרמי ממושך - הדורשות ציוד יקר ושעות של עיבוד.LODI מבצעת את אותה הטרנספורמציה כמעט מיידית בתנאים רגילים, עם יכולת דפוס מובנית, וסוללת את הדרך לייצור ניתן להרחבה וחסכוני באנרגיה.
הפשטות והדיוק של LODI יכולים להאיץ את הפיתוח של אלקטרוניקה גמישה, חיישנים והתקנים אופטו-אלקטרוניים, ולסמן התקדמות מרכזית באבולוציה של עיבוד מוליכים למחצה. "מחקר זה מדגים דרך ישירה וניתנת לשליטה להנדס את המוליכות של מוליכים למחצה תחמוצת באמצעות תהליך לייזר יחיד", אמר קוון."על ידי המרת תחמוצת טיטניום מ-n-type ל-p-type ביעילות, אנו יוצרים בסיס להתקני מוליכים למחצה מהדור הבא, משולבים מאוד ואמינים."